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    无意淘来的48纳米duv光刻机，在这个时候派上用场，还能生产14纳米芯片，今晚最大受益人除了陈星就是他陈永了。

    因为见证过28纳米的开天基带芯片生产，现在的48纳米光刻机在他眼里可是香饽饽，为此他这段时间也在想尽办法去淘光刻机，为国产联盟做贡献。

    “那就走吧。”

    林天率先移开脚步。

    这几天为了教蓝绿厂工程师，他可谓是煞费苦心，都把这里当成自己家了。

    好在，有一批人悟道了。

    ……

    当陈星冯承铭等人走进工厂，林天轻车熟路地将众人领到了换衣室更换防尘服。

    穿戴整齐，确保没有纰漏以后，他们带着清洁过后的皮箱走进了光刻机的洁净室。

    “老总们好！”

    “林首席好！”

    蓝绿厂的光刻工程师们早早等候，他们早就知道，今晚会有大人物到来。

    “不用客气了。”陈永摆了摆手，看向林天道：“林首席你看现在该怎么弄？”

    林天没有急着回答他，而是看向陈星，征求同意道：“总裁，那我可要开始了？”

    四块光掩膜版的多重曝光技术，如果一旦演示完成，很有可能让其他工程师学了去，他才会特意征求同意。

    要是陈星摇头示意，他是可以留一手的。

    然而陈星觉得没这必要，未来肯定还是要靠龙芯国际、蓝绿厂帮忙量产芯片的，多重曝光技术也算是让他们尝些甜头，巩固彼此之间的利益了。

    “开始吧。”

    陈星淡淡回应。

    随着陈星点头，林天开始了他的光刻独秀。

    利索打开冯承铭带来的皮箱，露出里面的四块光掩膜版。

    因为考虑到表面有灰尘，生产前的第一步就需要清洗，紧接着才是区分光掩膜版型号。

    四块光掩膜版不比两块的，它需要区分好顺序，不能出错，出错就相当于毁坏了一张硅片。

    龙芯国际也没马虎，四块掩膜版都按照林天当初的要求，标注上的光刻序号。

    当生产设备都调试完成，林天大手一挥道：“准备生产，硅片清洗烘干涂胶。”

    不等蓝绿厂的工程师行动，冯承铭亲自拿硅片去清洗，并放入烘干的运送设备。

    林天则是安装掩膜版，数次校准以后，他讲解道：“第一块光掩膜版可以随意放，因为它是地基，之后的三块光掩膜版，必须要做到每一步都要在预定精度范围，1纳米误差都不行。”

    “明白了。”

    “明白了。”

    周围工程师纷纷应答。

    在众人围观下，林天开始启动光刻机，进行第一次的曝光，在硅片上作画图案。

    第一次曝光结束。

    取出硅片蚀刻清洗，紧接着是第二次涂抹光刻胶，林天用上了第二台光刻机。

    第二次曝光很明显，他比第一次专注了许多。

    “第二次光刻不能用任何偏差，曝光的图案应该在第一次图案纳米图案的中间位置。”

    “这就好比一条主干道，第一次我们是修了这个主干道，第二次就是在这个主干道的中间画上一条两边对称的线。”

    没有技巧，全凭经验。

    林天启动光刻机，进行第二次的曝光，让光刻胶疲软，紧接着继续用蚀刻溶剂清洗。

    每次曝光、蚀刻都会在半导体硅片留下图案，一连四次的曝光让冯承铭等工程师看得目瞪口呆。

    最后一次时，林天继续讲解道：“第四次曝光，不仅要进行光刻，还要进行离子注入，增加电导性，说白了，就是你们之前学的单次芯片生产步骤。”

    “但重点是，我第三步是先刻画道路的左边，第四步，则是要刻画道路的右边，这样一来，完整的电路图案就显现了。”

    简单讲述后，他不断用设备调整光掩膜版，当达到预定位置时，他再次启动光刻机。

    光刻机在接收到启动指令后，立即就对12寸半导体，接近三百个芯片裸片进行曝光。

    五分钟后。

    半导体硅片被取出。

    此刻所有人大气不敢喘，冯承铭接过硅片以后，亲自去切割检测参数性能。

    当检测仪器显示，该裸片的纳米等级是14纳米，并且电路图完美运行那刻，他强压心中的激动，郑重宣布道：

    “成了！”

    “soc上帝芯片成了！！！”

    感谢读者大佬们的月票和推荐票，感谢读者2022…0433大佬的打赏，还有感谢各位读者大佬的每日追读。

    咳咳，刚才复制章节错了，现在改回来了，抱歉。

    (本章完)

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